▲▽今回の内容▲▽
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令和7年1月1日付 オープンファシリティ装置の登録・変更・取消のお知らせ
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平素よりオープンファシリティ事業にご理解とご協力をいただき誠に有難うございます
令和7年(2025年)1月1日付で，以下の通り登録装置について更新がありましたのでお知らせ致します
●新規登録 1件
1）AP-100373 マルチコレクタ―型質量分析装置(MC-ICP-MS)／サーモフィッシャーサイエンティフィック／NEPTUNE plus
●料金変更 23件
1）AP-100028 マスクアライナー／ミカサ／MA-20
2）AP-100031 ICP高密度プラズマエッチング装置／サムコ／RIE-101iHS
3）AP-100032 プラズマCVD装置／サムコ／PD-220ESN
4）AP-100035 ヘリコンスパッタリング装置／アルバック／MPS-4000C１／HC１
5）AP-100037 超高精度電子ビーム描画装置 125kV／エリオニクス／ELS-F125-U
6）AP-100077 超高精度電子ビーム描画装置 100kV／エリオニクス／ELS-7000HM
7）AP-100083 ドライエッチング装置／アルバック／NLD-500
8）AP-100084 反応性イオンエッチング装置／サムコ／RIE-101iPH
9）AP-100086 原子層堆積装置／ピコサン／SUNALE-R
10）AP-100095 イオンビームスパッタ装置／アルバック／IBS-6000S
11）AP-100096 イオンミリング装置／アルバック／IBE-6000S
12）AP-100131 コンパクトスパッタ装置／アルバック／ACS-4000-C３-HS
13）AP-100132 振動円偏光二色性分光光度計／日本分光／JV-2001M
14）AP-100145 超高速スキャン高精度電子ビーム露光装置／エリオニクス／ELS-F130HM
15）AP-100146 半導体薄膜堆積装置／パスカル／PAC-LMBE
16）AP-100189 核磁気共鳴装置(NMR)(液体試料専用)／ジオル・レゾナンス／ECX-400P
17）AP-100190 核磁気共鳴装置(NMR)(液体試料専用)／ジオル・レゾナンス／ECS-400
18）AP-100254 多元スパッタ装置／アルバック／QAM-４-ST
19）AP-100255 シリコン深堀りエッチング装置／SPPテクノロジーズ／APX-ASE-Pegasus-Polestar
20）AP-100328 レーザー描画装置／ハイデルベルグ・インストルメンツ／DWL66HK
21）AP-100329 プラズマ式原子層堆積装置／サムコ／AD-230LP-H
22）AP-100331 卓上型ランプ加熱装置／アドバンス理工／MILA-5000-P-N
23）AP-100343 マニュアルスパッタ／(自作)／-
※7)，8)，10)，11) については、委託分析・加工を開始
●登録取消 2件
1）AP-100046 フーリエ変換赤外線吸収分光光度計(FT-IR)／日本分光／FT／IR 660Plus
2）AP-100049 紫外可視近赤外分光光度計／パーキンエルマー／Lamda 900S
各装置に関するお問い合わせ・ご相談は，該当する装置の「お問い合わせ」より装置管理者にご連絡ください。
利用者の皆様には，何卒ご理解とご協力を賜ります様，お願い申し上げます。
