オープンファシリティ

【クライオクロスセクションポリッシャ(CCP)】

Cryo Crosssection Polisher

メーカー／型番：日本電子／IB-19520CCP

AP-100316

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状態：Status

稼働中 In Service

予約状況
Equipment Availability

設置場所Location

建屋・棟：Building	工学部フロンティア応用科学研究棟
住所：Address	〒060-8628 北海道札幌市北区北13条西8丁目北海道大学工学部
フロア：Floor	1階 1-03

メーカー／型番：Manufacturer／Model Name

日本電子／IB-19520CCP
JSOL／IB-19520CCP

カテゴリー：Category

表面分析・形態観測用装置

装置管理者：Instrument Manager

光電子分光分析研究室
xpslab@eng.hokudai.ac.jp
0117066882

装置所属／装置供出者：Affiliated Department／Instrument Provider

工学部
Faculty of Engineering

利用料金：Fee

初回講習料（基本料）Initial Training Fee	学外（他大学・公的機関）	￥17,600
	学外（その他・民間企業）	￥17,600

予約利用料Facility Usage Fee	学外（他大学・公的機関）	￥2,500 / 時間
	学外（その他・民間企業）	￥3,300 / 時間

技術相談料Technical Consulting Fee	学外（他大学・公的機関）	￥11,000 / 時間
	学外（その他・民間企業）	￥14,300 / 時間

参照 URL：

光電子分光分析研究室ウェブサイト

備考：Note	https://xpslab.eng.hokudai.ac.jp/をご確認下さい
概要・性能：Performance	試料の断面をArイオンビームで削り出して作製する。機械研磨で生じてしまうようなダメージ層を形成せずに断面を作る事が出来るので、微細構造や微粒子のSEM断面観察、EBSD測定、AES分析に適した断面を用意出来る。加工中の試料の様子を内部CCDカメラで観察する事が可能。液体窒素を利用した冷却加工、自動間欠照射、自動仕上げ加工もあり、熱ダメージに弱い試料などに有効である。トランスファーベッセルによる大気非曝露輸送、大型試料回転ホルダーによる試料表面ミリング加工も実施出来る。	The cross section of a sample is prepared by grinding it with an Ar ion beam. Cross-sections can be made without forming a damaged layer, which would be caused by mechanical polishing. This makes it possible to prepare cross-sections suitable for SEM cross-sectional observation of microstructures and fine particles, EBSD measurement, and AES analysis. The sample during processing can be observed with an internal CCD camera. Cooling processing using liquid nitrogen, automatic intermittent irradiation, and automatic finishing are also available, which are effective for samples that are vulnerable to thermal damage. Non-exposure transport using a transfer vessel and sample surface milling using a large rotating sample holder are also available.
仕様：Specs	イオン加速電圧 2～8kV ミリングスピード 500μm/h以上 (加速電圧8kV) 冷却温度設定範囲－120～0°C 大気非曝露機能〇最大搭載試料サイズ　断面ミリング 11mm (幅)×8mm (長さ)×3mm (厚さ) 平面ミリング 40mm (直径)×15mm (厚さ)	Ion acceleration voltage 2～8kV Milling speed 500μm/h or more (acceleration voltage 8kV) Cooling temperature setting range -120 to 0°C Atmosphere non-exposure function 0 Maximum sample size Cross section milling 11mm (width) x 8mm (length) x 3mm (thickness) Flat milling 40mm (diameter) x 15mm (thickness)
説明：Guide	クロスセクションポリッシャと同様、試料のイオンミリング加工を行える装置ですが、冷却しながらの加工が出来るため、熱ダメージが起きやすい試料も加工が可能です。　ミリングスピードが大幅に向上している他、様々な自動化機能も有しています。　トランスファーベッセルを使用した大気非曝露での試料の出し入れ、また樹脂埋め試料などの平面ミリングを行う事も可能です。	As with the cross-section polisher, this machine can perform ion milling of specimens, but it can also process specimens that are prone to thermal damage because it can do so while cooling the specimens. 　The milling speed has been greatly improved, and various automated functions are also available. 　The transfer vessel can be used to transfer specimens in and out of the machine without exposure to the atmosphere, and it is also possible to perform plane milling of resin-bedded specimens, etc.

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利用責任者：User Manager
利用者：User
申込日：Application Date	2025/06/06
初回講習料（基本料）：Initial Training Fee
連絡事項：Note