オープンファシリティ

【走査型電子顕微鏡】

Scanning electron microscope

メーカー／型番：日本電子／JSM-6510LA

AP-100239

戻るBack

お問い合わせContact

状態：Status

稼働中 In Service

予約状況
Equipment Availability

設置場所Location

建屋・棟：Building	フロンティア応用科学研究棟 1-03
フロア：Floor	-

メーカー／型番：Manufacturer／Model Name

日本電子／JSM-6510LA
JEOL／JSM-6510LA

カテゴリー：Category

画像分析装置

装置管理者：Instrument Manager

光電子分光分析研究室
xpslab@eng.hokudai.ac.jp
0117066882

装置所属／装置供出者：Affiliated Department／Instrument Provider

工学部
Faculty of Engineering

利用料金：Fee

初回講習料（基本料）Initial Training Fee	学外（他大学・公的機関）	￥17,600
	学外（その他・民間企業）	￥17,600

予約利用料Facility Usage Fee	学外（他大学・公的機関）	￥2,100 / 時間
	学外（その他・民間企業）	￥2,700 / 時間

技術相談料Technical Consulting Fee	学外（他大学・公的機関）	￥11,000 / 時間
	学外（その他・民間企業）	￥14,300 / 時間

参照 URL：

光電子分光分析研究室ウェブサイト

備考：Note	https://xpslab.eng.hokudai.ac.jp/をご確認下さい
概要・性能：Performance	幅広いユーザーのニーズに対応できる熱電子銃タイプの汎用SEMです。数倍～数万倍程度のSEM像観察と特性X線による組成分析が行えます。低真空モード、反射電子像観察機能があります。
仕様：Specs	分解能：高真空モード　3.0 nm（30 kV）、8 nm（3 kV）、15 nm（1 kV）低真空モード　4.0 nm（30 kV）加速電圧：0.5 kV ～ 30 kV 画像モード：二次電子像、REF像、組成像、凹凸像、立体像低真空圧力： 10 ～270 Pa 主なオプション：反射電子検出器、エネルギー分散形X線分析装置（EDS）
説明：Guide	タングステンフィラメントの熱電子銃タイプです。汎用型で非常に使いやすい仕様になっています。分解能は最小で3.0nm(30kV)、加速電圧は0.3kV~30kVまで可変です。SEMとして二次電子像を取得出来る他、反射電子像(COMPO像、TOPO像)の観察も可能です。 EDS(エネルギー分散型X線分析装置)を装備しており、試料表面の元素同定、定量を行えます。測定法には点分析、エリア分析、線分析、マッピングがあります。チャンバー内の真空排気には低真空モードが用意されており、10～270Paの低真空圧力での試料観察やEDS分析が可能です(反射電子像のみ)。生物試料や含水試料を特別な前処理なく、そのまま観察する事が出来ます。

の利用のため、下記の内容で講習を申し込みます。よろしいですか？ Apply with the following information. OK?
課題番号 * ：Issue No.
利用責任者：User Manager
利用者：User
申込日：Application Date	2025/06/06
初回講習料（基本料）：Initial Training Fee
連絡事項：Note