オープンファシリティ

【精密イオンミリングシステム】

メーカー／型番：Gatan／PIPSII　model　695

AP-200079

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状態：Status

稼働中 In Service

予約状況
Equipment Availability

メーカー／型番：Manufacturer／Model Name

Gatan／PIPSII　model　695

カテゴリー：Category

成膜・加工装置

装置管理者：Instrument Manager

ナノテク連携室
nano-support-GFC@es.hokudai.ac.jp
0117069340

装置所属／装置供出者：Affiliated Department／Instrument Provider

電子科学研究所
Advanced Research Infrastructure for Materials and Nanotechnology

利用料金：Fee

初回講習料Initial Training Fee	学外（他大学・公的機関）		￥35,200
	学外（その他・民間企業）		￥35,200

予約利用料Facility Usage Fee	学外（他大学・公的機関）	データなし	￥1,700 / 時間
		データあり	￥1,300 / 時間
	学外（その他・民間企業）	データなし	￥1,800 / 時間
		データあり	￥1,400 / 時間

技術代行料Processing Fee	学外（他大学・公的機関）	データなし	￥10,500 / 時間
		データあり	￥10,100 / 時間
	学外（その他・民間企業）	データなし	￥10,600 / 時間
		データあり	￥10,200 / 時間

技術補助料Technical Assisting Fee	学外（他大学・公的機関）	データなし	￥6,100 / 時間
		データあり	￥5,700 / 時間
	学外（その他・民間企業）	データなし	￥6,200 / 時間
		データあり	￥5,800 / 時間

技術支援料（通常）Technical Support Fee (Normal)	学外（他大学・公的機関）		￥4,400 / 時間
	学外（その他・民間企業）		￥4,400 / 時間

技術支援料（高度）Technical Support Fee (High)	学外（他大学・公的機関）		￥8,800 / 時間
	学外（その他・民間企業）		￥8,800 / 時間

技術相談料Technical Consulting Fee	学外（他大学・公的機関）		￥11,000 / 時間
	学外（その他・民間企業）		￥11,000 / 時間

備考：Note	マテリアル先端リサーチインフラ事業装置（ARIM装置番号：HK-407）
仕様：Specs	イオン銃　　　　　　：低エネルギー集束電極　　ペニング形イオン銃2式ミリングアングル　　：-10°～+10°　調整可能イオンエネルギー　　：100eV ～8keV イオン電流密度　　　：1イオン銃あたり　10mA　/㎠試料サイズ　　　　　：3mm 試料回転　　　　　　：1～6rpm まで可変 X,Y切換え範囲　　　：±0.5mm 液体窒素冷却ステージ：試料冷却 -120℃まで可能

の利用のため、下記の内容で講習を申し込みます。よろしいですか？ Apply with the following information. OK?
課題番号 * ：Issue No.
利用責任者：User Manager
利用者：User
申込日：Application Date	2025/05/02
初回講習料：Initial Training Fee
連絡事項：Note