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【エリプソメーター】
  
   メーカー/型番:日本分光社/M-500S
  AP-200058
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  • 状態Status 
    稼働中 In Service
    予約状況
    Equipment Availability

    設置場所(Location)

    建屋・棟Building 工学部L棟
    住所Address
    フロアFloorL114
  • メーカー/型番Manufacturer/Model Name日本分光社/M-500S
    カテゴリーCategory 専用測定装置
    装置管理者Instrument Manager ナノテク装置管理者(情報)
    nanolab@ist.hokudai.ac.jp
    6539
    装置所属/装置供出者Affiliated Department/Instrument Provider 微細加工・情報科学研究院/
    (NanoTechnologyPlatForm)
    利用料金Fee
    初回講習料Initial Training Fee学外(他大学・公的機関)Off-Campus (other university/public institute)¥8,800
    学外(その他・民間企業)Off-Campus (private enterprise/other)¥8,800
    予約利用料Facility Usage Fee学外(他大学・公的機関)Off-Campus (other university/public institute)¥200 / 時間
    学外(その他・民間企業)Off-Campus (private enterprise/other)¥700 / 時間
    技術代行料Processing Fee学外(他大学・公的機関)Off-Campus (other university/public institute)¥9,000 / 時間
    学外(その他・民間企業)Off-Campus (private enterprise/other)¥9,500 / 時間
    技術補助料Technical Assisting Fee学外(他大学・公的機関)Off-Campus (other university/public institute)¥4,600 / 時間
    学外(その他・民間企業)Off-Campus (private enterprise/other)¥5,100 / 時間
    技術支援料(通常)Technical Support Fee (Normal)学外(他大学・公的機関)Off-Campus (other university/public institute)¥4,400 / 時間
    学外(その他・民間企業)Off-Campus (private enterprise/other)¥4,400 / 時間
    技術支援料(高度)Technical Support Fee (High)学外(他大学・公的機関)Off-Campus (other university/public institute)¥8,800 / 時間
    学外(その他・民間企業)Off-Campus (private enterprise/other)¥8,800 / 時間
    技術相談料Technical Consulting Fee学外(他大学・公的機関)Off-Campus (other university/public institute)¥11,000 / 時間
    学外(その他・民間企業)Off-Campus (private enterprise/other)¥11,000 / 時間
    備考Note ナノテクノロジープラットフォーム事業装置
    概要・性能Performance 反射した偏光ビームの相対的な位相の変化を測定することで、薄膜や表面、物質の微細構造を解析する装置。
    仕様Specs ・Xe光源
    ・測定波長:350~800nm
    ・試料水平置き
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