| メーカー／型番：Manufacturer／Model Name |
日立／FB-2100
Hitachi／FB-2100
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| カテゴリー：Category |
成膜・加工装置 |
| 装置管理者：Instrument Manager |
ナノテク連携室
nano-support-GFC@es.hokudai.ac.jp
0117069340
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| 装置所属／装置供出者：Affiliated Department／Instrument Provider |
電子科学研究所／電子科学研究所
Research Institute for Electronic Science
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| 利用料金：Fee |
| 初回講習料（基本料）Initial Training Fee |
学外（他大学・公的機関） |
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￥22,000 |
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学外（その他・民間企業） |
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￥22,000 |
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| 予約利用料Facility Usage Fee |
学外（他大学・公的機関） |
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￥6,600 / 時間 |
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学外（その他・民間企業） |
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￥8,600 / 時間 |
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| 材料分析・加工料Material Analysis/Processing Fee |
学外（他大学・公的機関） |
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￥15,400 / 時間 |
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学外（その他・民間企業） |
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￥17,400 / 時間 |
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| 技術相談料Technical Consulting Fee |
学外（他大学・公的機関） |
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￥11,000 / 時間 |
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学外（その他・民間企業） |
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￥14,300 / 時間 |
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| 受託分析料金：Material Analysis/Processing Fee |
材料分析・加工料 参照 |
