| メーカー／型番：Manufacturer／Model Name |
ミカサ／MA-20
Mikasa／MA-20
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| カテゴリー：Category |
微細加工・表面加工装置／光露光装置
Microfabrication & Surface Processing Equipment／Photolithography System
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| 装置管理者：Instrument Manager |
ナノテク連携室
0117069340
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| 装置所属／装置供出者：Affiliated Department／Instrument Provider |
電子科学研究所／電子科学研究所
Research Institute for Electronic Science
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| 利用料金：Fee |
| 初回講習料（基本料）Initial Training Fee |
学外（他大学・公的機関） |
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￥13,200 |
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学外（その他・民間企業） |
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￥13,200 |
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| 予約利用料Facility Usage Fee |
学外（他大学・公的機関） |
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￥2,900 / 時間 |
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学外（その他・民間企業） |
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￥3,800 / 時間 |
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| 材料分析・加工料Material Analysis/Processing Fee |
学外（他大学・公的機関） |
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￥11,700 / 時間 |
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学外（その他・民間企業） |
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￥12,600 / 時間 |
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| 技術相談料Technical Consulting Fee |
学外（他大学・公的機関） |
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￥11,000 / 時間 |
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学外（その他・民間企業） |
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￥14,300 / 時間 |
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| 受託分析料金：Material Analysis/Processing Fee |
材料分析・加工料 参照 |
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| 備考：Note |
利用はマテリアル先端リサーチインフラ事業装置から申込ください。 |
| 概要・性能：Performance |
光源にマルチミラーランプハウスを用い、均一性の高い照度分布特性を持った露光装置である。 |
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| 参考論文：Scholarly Articles |
「Extending the potential of x-ray free-electron lasers to industrial applications-an initiatory attempt at coherent diffractive imaging on car-related nanomaterials」、JOURNAL OF PHYSICS B-ATOMIC MOLECULAR AND OPTICAL PHYSICS 巻: 48 号: 24、-、2015、Yoshida, R (Yoshida, Rikiya)
「Coherent diffraction imaging of non-isolated object with apodized illumination」、OPTICS EXPRESS 巻: 23 号: 22、28182-28190、2015、Khakurel, KP (Khakurel, Krishna P.)
「Synthesis of Janus-Like Gold Nanoparticles with Hydrophilic/Hydrophobic Faces by Surface Ligand Exchange and Their Self-Assemblies in Water」、LANGMUIR 巻: 31 号: 14、4054-4062、2015、Iida, R (Iida, Ryo)
「Imaging live cell in micro-liquid enclosure by X-ray laser diffraction」、NATURE COMMUNICATIONS 巻: 5、-、2014、Kimura, T (Kimura, Takashi)
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