オープンファシリティ

【微細形状測定機】

Microfigure Measuring Instrument

メーカー／型番：小坂研究所／ET200

AP-200088

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状態：Status

稼働中 In Service

予約状況
Equipment Availability

メーカー／型番：Manufacturer／Model Name

小坂研究所／ET200
Kosaka Laboratory Ltd.／

カテゴリー：Category

クリーンルーム内設置装置

装置管理者：Instrument Manager

ナノテク連携室
nano-support-GFC@es.hokudai.ac.jp
0117069340

装置所属／装置供出者：Affiliated Department／Instrument Provider

電子科学研究所
Advanced Research Infrastructure for Materials and Nanotechnology

利用料金：Fee

初回講習料Initial Training Fee	学外（他大学・公的機関）		￥17,600
	学外（その他・民間企業）		￥17,600

予約利用料Facility Usage Fee	学外（他大学・公的機関）	データなし	￥800 / 時間
		データあり	￥600 / 時間
	学外（その他・民間企業）	データなし	￥1,100 / 時間
		データあり	￥800 / 時間

技術代行料Processing Fee	学外（他大学・公的機関）	データなし	￥9,600 / 時間
		データあり	￥9,400 / 時間
	学外（その他・民間企業）	データなし	￥9,900 / 時間
		データあり	￥9,600 / 時間

技術補助料Technical Assisting Fee	学外（他大学・公的機関）	データなし	￥5,200 / 時間
		データあり	￥5,000 / 時間
	学外（その他・民間企業）	データなし	￥5,500 / 時間
		データあり	￥5,200 / 時間

技術支援料（通常）Technical Support Fee (Normal)	学外（他大学・公的機関）		￥4,400 / 時間
	学外（その他・民間企業）		￥4,400 / 時間

技術支援料（高度）Technical Support Fee (High)	学外（他大学・公的機関）		￥8,800 / 時間
	学外（その他・民間企業）		￥8,800 / 時間

技術相談料Technical Consulting Fee	学外（他大学・公的機関）		￥11,000 / 時間
	学外（その他・民間企業）		￥11,000 / 時間

備考：Note	マテリアル先端リサーチインフラ事業装置（ARIM登録番号：HK-630）
概要・性能：Performance	二次元表面粗さ解析及び段差を測定する装置
仕様：Specs	最大サンプルサイズ Φ160×厚さ52mm 再現性 1σ 0.3nm以内測定範囲 Z：600μm X：100mm 分解能 Z：0.1nm X：0.1μm 測定力 10μN～500μN

の利用のため、下記の内容で講習を申し込みます。よろしいですか？ Apply with the following information. OK?
課題番号 * ：Issue No.
利用責任者：User Manager
利用者：User
申込日：Application Date	2024/05/02
初回講習料：Initial Training Fee
連絡事項：Note