オープンファシリティ

【マニュアルスパッタ】

Manual Sputter

メーカー／型番：(自作)／-

AP-100343

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状態：Status

メンテナンス中 Under Maintenance

予約状況
Equipment Availability

メーカー／型番：Manufacturer／Model Name

(自作)／-
self-made／-

カテゴリー：Category

クリーンルーム内設置装置／創成棟内
／創成棟内

装置管理者：Instrument Manager

ナノテク連携室
nano-support-GFC@es.hokudai.ac.jp
0117069340

装置所属／装置供出者：Affiliated Department／Instrument Provider

電子科学研究所
Research Institute for Electronic Science

利用料金：Fee

初回講習料（基本料）Initial Training Fee	学外（他大学・公的機関）	￥17,600
	学外（その他・民間企業）	￥17,600

予約利用料Facility Usage Fee	学外（他大学・公的機関）	￥1,600 / 時間
	学外（その他・民間企業）	￥2,000 / 時間

材料分析・加工料Material Analysis/Processing Fee	学外（他大学・公的機関）	￥10,400 / 時間
	学外（その他・民間企業）	￥10,800 / 時間

技術相談料Technical Consulting Fee	学外（他大学・公的機関）	￥11,000 / 時間
	学外（その他・民間企業）	￥14,300 / 時間

参照 URL：

概要・性能：Performance	成膜したい材料の装着が可能なスパッタ装置。対向成膜、RF2インチカソード、DC1インチカソードに対応。
仕様：Specs	成膜したい材料の装着が可能なスパッタ装置。対向成膜、RF2インチカソード、DC1インチカソードに対応。

の利用のため、下記の内容で講習を申し込みます。よろしいですか？ Apply with the following information. OK?
課題番号 * ：Issue No.
利用責任者：User Manager
利用者：User
申込日：Application Date	2025/06/06
初回講習料（基本料）：Initial Training Fee
連絡事項：Note