オープンファシリティ

【半導体薄膜堆積装置】

Semiconductor thin film layer deposition system

メーカー／型番：パスカル／PAC-LMBE

AP-100146

状態：Status

稼働中 In Service

予約状況
Equipment Availability

メーカー／型番：Manufacturer／Model Name

パスカル／PAC-LMBE
Pascal／PAC-LMBE

カテゴリー：Category

微細加工・表面加工装置／成膜装置
Microfabrication & Surface Processing Equipment／Film Formation and Deposition Equipment

装置管理者：Instrument Manager

ナノテク連携室

0117069340

装置所属／装置供出者：Affiliated Department／Instrument Provider

電子科学研究所／電子科学研究所
Research Institute for Electronic Science

利用料金：Fee

初回講習料（基本料）Initial Training Fee	学外（他大学・公的機関）	￥35,200
	学外（その他・民間企業）	￥35,200

予約利用料Facility Usage Fee	学外（他大学・公的機関）	￥8,600 / 時間
	学外（その他・民間企業）	￥11,200 / 時間

材料分析・加工料Material Analysis/Processing Fee	学外（他大学・公的機関）	￥17,400 / 時間
	学外（その他・民間企業）	￥20,000 / 時間

技術相談料Technical Consulting Fee	学外（他大学・公的機関）	￥11,000 / 時間
	学外（その他・民間企業）	￥14,300 / 時間

受託分析料金：Material Analysis/Processing Fee

材料分析・加工料参照

備考：Note	利用はマテリアル先端リサーチインフラ事業装置から申込ください。
概要・性能：Performance	レーザー照射によりエピタキシャルに薄膜を作製するための装置

の利用のため、下記の内容で講習を申し込みます。よろしいですか？ Apply with the following information. OK?
課題番号 * ：Issue No.
利用責任者：User Manager
利用者：User
申込日：Application Date	2026/08/09
初回講習料（基本料）：Initial Training Fee
連絡事項：Note