オープンファシリティ

【エリプソメータ】

Ellipsometer

メーカー／型番：日本分光／M-500S

AP-100304

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状態：Status

停止中 Out of Service

予約状況
Equipment Availability

メーカー／型番：Manufacturer／Model Name

日本分光／M-500S
JASCO／M-500S

カテゴリー：Category

クリーンルーム内設置装置／工学部棟内
／工学部棟内

装置管理者：Instrument Manager

ナノテク装置管理者（情報）
nanolab@ist.hokudai.ac.jp
6539

装置所属／装置供出者：Affiliated Department／Instrument Provider

情報科学研究院
Faculty of Information Science and Technology

利用料金：Fee

初回講習料（基本料）Initial Training Fee	学外（他大学・公的機関）	￥6,200
	学外（その他・民間企業）	￥6,200

予約利用料Facility Usage Fee	学外（他大学・公的機関）	￥1,000 / 時間
	学外（その他・民間企業）	￥1,200 / 時間

材料分析・加工料Material Analysis/Processing Fee	学外（他大学・公的機関）	￥9,800 / 時間
	学外（その他・民間企業）	￥10,000 / 時間

技術相談料Technical Consulting Fee	学外（他大学・公的機関）	￥11,000 / 時間
	学外（その他・民間企業）	￥14,300 / 時間

概要・性能：Performance	反射した偏光ビームの相対的な位相の変化を測定することで、薄膜や表面、物質の微細構造を解析する装置
仕様：Specs	・Xe光源・測定波長:350～800nm ・試料水平置き

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課題番号 * ：Issue No.
利用責任者：User Manager
利用者：User
申込日：Application Date	2025/06/05
初回講習料（基本料）：Initial Training Fee
連絡事項：Note