オープンファシリティ

【ダイシングソー】

Dicing saw

メーカー／型番：DISCO／DAD322

AP-100303

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状態：Status

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建屋・棟：Building	工学部C棟
フロア：Floor	C118（クリーンリーム）

メーカー／型番：Manufacturer／Model Name

DISCO／DAD322
DISCO／DAD322

カテゴリー：Category

クリーンルーム内設置装置／工学部棟内
／工学部棟内

装置管理者：Instrument Manager

ナノテク装置管理者（情報）
nanolab@ist.hokudai.ac.jp
6539

装置所属／装置供出者：Affiliated Department／Instrument Provider

情報科学研究院
Faculty of Information Science and Technology

利用料金：Fee

初回講習料（基本料）Initial Training Fee	学外（他大学・公的機関）	￥17,600
	学外（その他・民間企業）	￥17,600

予約利用料Facility Usage Fee	学外（他大学・公的機関）	￥1,400 / 時間
	学外（その他・民間企業）	￥1,800 / 時間

材料分析・加工料Material Analysis/Processing Fee	学外（他大学・公的機関）	￥10,200 / 時間
	学外（その他・民間企業）	￥10,600 / 時間

技術相談料Technical Consulting Fee	学外（他大学・公的機関）	￥11,000 / 時間
	学外（その他・民間企業）	￥14,300 / 時間

概要・性能：Performance	回転ブレードにより各種ウエハをダイシングする装置
仕様：Specs	・セミオートマチック・標準ブレード軽：ø58 ・インデクスステップ：0.0001mm ・位置決め精度：0.005以内/160 ・試料サイズ：～6インチウェハ

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課題番号 * ：Issue No.
利用責任者：User Manager
利用者：User
申込日：Application Date	2025/06/23
初回講習料（基本料）：Initial Training Fee
連絡事項：Note

申込みApply

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2025/6