オープンファシリティ

【EB加熱・抵抗加熱蒸着装置】

Vacuum evaporation system

メーカー／型番：アルバック／EBX-８C

AP-100301

状態：Status

停止中 Out of Service

予約状況
Equipment Availability

建屋・棟：Building	工学部C棟
フロア：Floor	C118（クリーンリーム）

メーカー／型番：Manufacturer／Model Name

アルバック／EBX-８C
ULVAC／EBX-８C

カテゴリー：Category

微細加工・表面加工装置／成膜装置
Microfabrication & Surface Processing Equipment／Film Formation and Deposition Equipment

装置管理者：Instrument Manager

ナノテク装置管理者（情報）

6539

装置所属／装置供出者：Affiliated Department／Instrument Provider

情報科学研究院
Faculty of Information Science and Technology

利用料金：Fee

初回講習料（基本料）Initial Training Fee	学外（他大学・公的機関）	￥35,200
	学外（その他・民間企業）	￥35,200

予約利用料Facility Usage Fee	学外（他大学・公的機関）	￥4,100 / 時間
	学外（その他・民間企業）	￥5,300 / 時間

材料分析・加工料Material Analysis/Processing Fee	学外（他大学・公的機関）	￥12,900 / 時間
	学外（その他・民間企業）	￥14,100 / 時間

技術相談料Technical Consulting Fee	学外（他大学・公的機関）	￥11,000 / 時間
	学外（その他・民間企業）	￥14,300 / 時間

概要・性能：Performance	金属や半導体化合物を真空中で加熱蒸散させ、基板、薄膜試料等の表面に電極膜、絶縁薄膜を形成する蒸着装置。
仕様：Specs	・蒸着源:EB4元・抵抗加熱2元・蒸着材料:Ti、 Au、 Al、 Pd、 Co等

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課題番号 * ：Issue No.
利用責任者：User Manager
利用者：User
申込日：Application Date	2026/08/09
初回講習料（基本料）：Initial Training Fee
連絡事項：Note