オープンファシリティ

【両面マスクアライナ】

Mask- and Bond-Aligner

メーカー／型番：ズースマイクロテック／MA-６

AP-100300

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状態：Status

停止中 Out of Service

予約状況
Equipment Availability

メーカー／型番：Manufacturer／Model Name

ズースマイクロテック／MA-６
SÜSS MicroTec／MA-６

カテゴリー：Category

クリーンルーム内設置装置／工学部棟内

装置管理者：Instrument Manager

ナノテク装置管理者（情報）
nanolab@ist.hokudai.ac.jp
6539

装置所属／装置供出者：Affiliated Department／Instrument Provider

情報科学研究院
Faculty of Information Science and Technology

利用料金：Fee

初回講習料Initial Training Fee	学外（他大学・公的機関）	￥17,600
	学外（その他・民間企業）	￥17,600

予約利用料Facility Usage Fee	学外（他大学・公的機関）	￥4,200 / 時間
	学外（その他・民間企業）	￥5,400 / 時間

材料分析・加工料Material Analysis/Processing Fee	学外（他大学・公的機関）	￥13,000 / 時間
	学外（その他・民間企業）	￥14,200 / 時間

技術相談料Technical Consulting Fee	学外（他大学・公的機関）	￥11,000 / 時間
	学外（その他・民間企業）	￥14,300 / 時間

概要・性能：Performance	厚いレジストにも対応可能な高性能手動両面マスクアライナ
仕様：Specs	・両面、露光精度0.6ミクロン　・試料サイズ:最大6インチ　・基板サイズ:不定形小片～150mm角

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課題番号 * ：Issue No.
利用責任者：User Manager
利用者：User
申込日：Application Date	2025/05/28
初回講習料：Initial Training Fee
連絡事項：Note