| メーカー／型番：Manufacturer／Model Name |
ズースマイクロテック／MA-６
SÜSS MicroTec／MA-６
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| カテゴリー：Category |
微細加工・表面加工装置／光露光装置
Microfabrication & Surface Processing Equipment／Photolithography System
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| 装置管理者：Instrument Manager |
ナノテク装置管理者（情報）
6539
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| 装置所属／装置供出者：Affiliated Department／Instrument Provider |
情報科学研究院
Faculty of Information Science and Technology
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| 利用料金：Fee |
| 初回講習料（基本料）Initial Training Fee |
学外（他大学・公的機関） |
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￥17,600 |
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学外（その他・民間企業） |
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￥17,600 |
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| 予約利用料Facility Usage Fee |
学外（他大学・公的機関） |
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￥4,200 / 時間 |
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学外（その他・民間企業） |
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￥5,400 / 時間 |
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| 材料分析・加工料Material Analysis/Processing Fee |
学外（他大学・公的機関） |
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￥13,000 / 時間 |
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学外（その他・民間企業） |
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￥14,200 / 時間 |
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| 技術相談料Technical Consulting Fee |
学外（他大学・公的機関） |
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￥11,000 / 時間 |
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学外（その他・民間企業） |
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￥14,300 / 時間 |
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