オープンファシリティ

【電子ビーム描画装置】

Electron beam lithography system

メーカー／型番：エリオニクス／ELS-3700

AP-100299

状態：Status

停止中 Out of Service

予約状況
Equipment Availability

メーカー／型番：Manufacturer／Model Name

エリオニクス／ELS-3700
ELINOX／ELS-3700

カテゴリー：Category

微細加工・表面加工装置／電子線描画装置(EB)
Microfabrication & Surface Processing Equipment／Electron Beam Lithography System

装置管理者：Instrument Manager

ナノテク装置管理者（情報）

6539

装置所属／装置供出者：Affiliated Department／Instrument Provider

情報科学研究院
Faculty of Information Science and Technology

利用料金：Fee

初回講習料（基本料）Initial Training Fee	学外（他大学・公的機関）	￥26,400
	学外（その他・民間企業）	￥26,400

予約利用料Facility Usage Fee	学外（他大学・公的機関）	￥2,600 / 時間
	学外（その他・民間企業）	￥3,300 / 時間

材料分析・加工料Material Analysis/Processing Fee	学外（他大学・公的機関）	￥11,400 / 時間
	学外（その他・民間企業）	￥12,100 / 時間

技術相談料Technical Consulting Fee	学外（他大学・公的機関）	￥11,000 / 時間
	学外（その他・民間企業）	￥14,300 / 時間

概要・性能：Performance	基板上に塗布されたレジスト材に、電子線で直接描画する露光装置
仕様：Specs	・電子銃エミッター:LaB6 ・加速電圧:1～30kV ・最小線幅:100nm ・試料サイズ:最大4インチ・円弧スキャン可

の利用のため、下記の内容で講習を申し込みます。よろしいですか？ Apply with the following information. OK?
課題番号 * ：Issue No.
利用責任者：User Manager
利用者：User
申込日：Application Date	2026/05/08
初回講習料（基本料）：Initial Training Fee
連絡事項：Note