オープンファシリティ

【多元スパッタ装置】

Multi Sputtering equipment.

メーカー／型番：アルバック／QAM-４-ST

AP-100254

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状態：Status

稼働中 In Service

予約状況
Equipment Availability

メーカー／型番：Manufacturer／Model Name

アルバック／QAM-４-ST
ULVAC／QAM-４-ST

カテゴリー：Category

クリーンルーム内設置装置

装置管理者：Instrument Manager

ナノテク連携室
nano-support-GFC@es.hokudai.ac.jp
0117069340

装置所属／装置供出者：Affiliated Department／Instrument Provider

電子科学研究所／電子科学研究所
Research Institute for Electronic Science

利用料金：Fee

初回講習料Initial Training Fee	学外（他大学・公的機関）	￥26,400
	学外（その他・民間企業）	￥26,400

予約利用料Facility Usage Fee	学外（他大学・公的機関）	￥10,000 / 時間
	学外（その他・民間企業）	￥13,000 / 時間

材料分析・加工料Material Analysis/Processing Fee	学外（他大学・公的機関）	￥18,800 / 時間
	学外（その他・民間企業）	￥21,800 / 時間

技術相談料Technical Consulting Fee	学外（他大学・公的機関）	￥11,000 / 時間
	学外（その他・民間企業）	￥14,300 / 時間

備考：Note	利用はマテリアル先端リサーチインフラ事業装置から申込ください。
概要・性能：Performance	スパッタリングにより、サンプル上に金属等の薄膜を作製する。

の利用のため、下記の内容で講習を申し込みます。よろしいですか？ Apply with the following information. OK?
課題番号 * ：Issue No.
利用責任者：User Manager
利用者：User
申込日：Application Date	2025/05/28
初回講習料：Initial Training Fee
連絡事項：Note