オープンファシリティ

【半導体薄膜堆積装置(PLD)】

Semiconductor thin film layer deposition system

メーカー／型番：パスカル／PAC-LMBE

AP-200060

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状態：Status

稼働中 In Service

予約状況
Equipment Availability

メーカー／型番：Manufacturer／Model Name

パスカル／PAC-LMBE

カテゴリー：Category

クリーンルーム内設置装置／創成棟内
／創成棟内

装置管理者：Instrument Manager

ナノテク連携室
nano-support-GFC@es.hokudai.ac.jp
0117069340

装置所属／装置供出者：Affiliated Department／Instrument Provider

電子科学研究所
Advanced Research Infrastructure for Materials and Nanotechnology

利用料金：Fee

初回講習料（基本料）Initial Training Fee	学外（他大学・公的機関）		￥35,200
	学外（その他・民間企業）		￥35,200

予約利用料Facility Usage Fee	学外（他大学・公的機関）	データなし	￥3,100 / 時間
		データあり	￥2,400 / 時間
	学外（その他・民間企業）	データなし	￥7,400 / 時間
		データあり	￥5,800 / 時間

技術代行料Processing Fee	学外（他大学・公的機関）	データなし	￥11,900 / 時間
		データあり	￥11,200 / 時間
	学外（その他・民間企業）	データなし	￥16,200 / 時間
		データあり	￥14,600 / 時間

技術補助料Technical Assisting Fee	学外（他大学・公的機関）	データなし	￥7,500 / 時間
		データあり	￥6,800 / 時間
	学外（その他・民間企業）	データなし	￥11,800 / 時間
		データあり	￥10,200 / 時間

技術支援料（通常）Technical Support Fee (Normal)	学外（他大学・公的機関）		￥4,400 / 時間
	学外（その他・民間企業）		￥4,400 / 時間

技術支援料（高度）Technical Support Fee (High)	学外（他大学・公的機関）		￥8,800 / 時間
	学外（その他・民間企業）		￥8,800 / 時間

技術相談料Technical Consulting Fee	学外（他大学・公的機関）		￥11,000 / 時間
	学外（その他・民間企業）		￥11,000 / 時間

備考：Note	マテリアル先端リサーチインフラ事業装置（ARIM装置番号：HK-615）
概要・性能：Performance	RHEEDを装備し、リアルタイムで成膜状態をモニタリング可能。
仕様：Specs	・光源:エキシマーレーザー248nm ・試料種類:TiO2、SrTiO3など・試料サイズ:2cm角・基板加熱機構あり
説明：Guide	電子科学研究所クリーンルーム(創成棟1F)の継続利用について R6年度よりGFC総合システムより受け付けます。下記のリンク先をご確認いただき、お手続きをお願いいたします。 https://www.gfc.hokudai.ac.jp/system/openfacility/instruments/1582
参考論文：Scholarly Articles	「Dynamics of an Electrically Driven Phase Transition in Ca2RuO4 Thin Films: Nonequilibrium High-Speed Resistive Switching in the Absence of an Abrupt Thermal Transition」、Advanced Electronic Materials 巻:9 号:6、2023、Keiji Tsubaki

カタログ：Catalog

マニュアル：Manual

2024/04/10 ★ 2024/4/16(火) レーザーのメンテナンスを行います

の利用のため、下記の内容で講習を申し込みます。よろしいですか？ Apply with the following information. OK?
課題番号 * ：Issue No.
利用責任者：User Manager
利用者：User
申込日：Application Date	2025/06/06
初回講習料（基本料）：Initial Training Fee
連絡事項：Note