オープンファシリティ

【超薄膜評価装置】

Ultra-thin Film Evaluation System

メーカー／型番：日立／HD-2000

AP-200041

状態：Status

稼働中 In Service

予約状況
Equipment Availability

設置場所Location

建屋・棟：Building	創成科学研究棟
住所：Address	〒001-0021 北海道札幌市北区北２１条西１０丁目
フロア：Floor	01-303

メーカー／型番：Manufacturer／Model Name

日立／HD-2000

カテゴリー：Category

顕微鏡(電子)／走査型透過電子顕微鏡(STEM)
Electron Microscopes／Scanning Transmission Electron Microscope (STEM)

装置管理者：Instrument Manager

ナノテク連携室

0117069340

装置所属／装置供出者：Affiliated Department／Instrument Provider

電子科学研究所
Advanced Research Infrastructure for Materials and Nanotechnology

利用料金：Fee

初回講習料（基本料）Initial Training Fee	学外（他大学・公的機関）		￥17,600
	学外（その他・民間企業）		￥17,600

予約利用料Facility Usage Fee	学外（他大学・公的機関）	データなし	￥3,600 / 時間
		データあり	￥2,800 / 時間
	学外（その他・民間企業）	データなし	￥9,300 / 時間
		データあり	￥7,300 / 時間

技術代行料Processing Fee	学外（他大学・公的機関）	データなし	￥12,400 / 時間
		データあり	￥11,600 / 時間
	学外（その他・民間企業）	データなし	￥18,100 / 時間
		データあり	￥16,100 / 時間

技術補助料Technical Assisting Fee	学外（他大学・公的機関）	データなし	￥8,000 / 時間
		データあり	￥7,200 / 時間
	学外（その他・民間企業）	データなし	￥13,700 / 時間
		データあり	￥11,700 / 時間

技術支援料（通常）Technical Support Fee (Normal)	学外（他大学・公的機関）		￥4,400 / 時間
	学外（その他・民間企業）		￥4,400 / 時間

技術支援料（高度）Technical Support Fee (High)	学外（他大学・公的機関）		￥8,800 / 時間
	学外（その他・民間企業）		￥8,800 / 時間

技術相談料Technical Consulting Fee	学外（他大学・公的機関）		￥11,000 / 時間
	学外（その他・民間企業）		￥11,000 / 時間

備考：Note	マテリアル先端リサーチインフラ事業装置（ARIM装置番号：HK-402）
概要・性能：Performance	観察用として明・暗視野透過電子検出器と二次電子検出器、分析用としてエネルギー分散型特性X線検出器を備えている、微細構造観察が可能な装置。
仕様：Specs	・加速電圧:200kV ・格子分解能:0.24nm ・倍率:×100～5,000,000 ・分析機能:EDS ・SEM観察像:2次電子観察、STEM観察、明視野像暗視野像(Zコントラスト)
参考論文：Scholarly Articles	「Atomic Layer Deposition of Hafnium–Zirconium-Oxide Films Using a Liquid Cocktail Precursor Containing Hf(dmap)4 and Zr(dmap)4 for Ferroelectric Devices」、ACS Applied Materials & Interfaces、2025、Akihiro Nishida 「Growth of α-Al2O3 layer involving abnormal oxides in FeCrAl alloy tube fabricated by WEDM process and electrical insulating performance in fusion reactor blanket」、Surface and Coatings Technology、Volume 493, Part 2 , 15 October 2024, 13、2022、Ryuhei Muto 「Real-Space Visualization of Charged Polymer Network of Hydrogel by Double Network Strategy and Mineral Staining」、Nano Letters、2024、Shinji Noguchi 「Synthesis of ZrN–SiO2 core–shell particles by a sol–gel process and use as particle-based structured coloring material」、Journal of the American Ceramic Society、2024、Shinji Noguchi 「Structural Color Materials with Color Mixing Effect Using Noble Metal-Free Plasmonic Particles in SiO2-ZrN System」、Advanced Optical Materials、2024、Shinji Noguchi

重要なお知らせ（Important News）

2026/07/31 ★ 2026/08/27～2026/08/31　Maintenance

2026/07/28 ★ 2026/10/02 17：00 ～ 2026/10/09 9:00　装置利用できません

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課題番号 * ：Issue No.
利用責任者：User Manager
利用者：User
申込日：Application Date	2026/08/09
初回講習料（基本料）：Initial Training Fee
連絡事項：Note