| メーカー／型番：Manufacturer／Model Name |
ズースマイクロテック／MA-6
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| カテゴリー：Category |
微細加工・表面加工装置／光露光装置
Microfabrication & Surface Processing Equipment／Photolithography System
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| 装置管理者：Instrument Manager |
ナノテク装置管理者（情報）
6539
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| 装置所属／装置供出者：Affiliated Department／Instrument Provider |
情報科学研究院
Advanced Research Infrastructure for Materials and Nanotechnology
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| 利用料金：Fee |
| 初回講習料（基本料）Initial Training Fee |
学外（他大学・公的機関） |
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￥17,600 |
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学外（その他・民間企業） |
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￥17,600 |
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| 予約利用料Facility Usage Fee |
学外（他大学・公的機関） |
データなし |
￥1,200 / 時間 |
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データあり |
￥1,000 / 時間 |
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学外（その他・民間企業） |
データなし |
￥3,800 / 時間 |
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データあり |
￥2,900 / 時間 |
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| 技術代行料Processing Fee |
学外（他大学・公的機関） |
データなし |
￥10,000 / 時間 |
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データあり |
￥9,800 / 時間 |
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学外（その他・民間企業） |
データなし |
￥12,600 / 時間 |
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データあり |
￥11,700 / 時間 |
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| 技術補助料Technical Assisting Fee |
学外（他大学・公的機関） |
データなし |
￥5,600 / 時間 |
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データあり |
￥5,400 / 時間 |
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学外（その他・民間企業） |
データなし |
￥8,200 / 時間 |
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データあり |
￥7,300 / 時間 |
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| 技術支援料（通常）Technical Support Fee (Normal) |
学外（他大学・公的機関） |
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￥4,400 / 時間 |
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学外（その他・民間企業） |
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￥4,400 / 時間 |
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| 技術支援料（高度）Technical Support Fee (High) |
学外（他大学・公的機関） |
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￥8,800 / 時間 |
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学外（その他・民間企業） |
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￥8,800 / 時間 |
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| 技術相談料Technical Consulting Fee |
学外（他大学・公的機関） |
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￥11,000 / 時間 |
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学外（その他・民間企業） |
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￥11,000 / 時間 |
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