オープンファシリティ

【集束イオンビーム加工観察装置】

Focused Ion Beam System

メーカー／型番：日本電子／JEM-9320FIB

AP-100209

状態：Status

稼働中 In Service

予約状況
Equipment Availability

建屋・棟：Building	エネルギー・マテリアル融合領域研究センター超高圧電子顕微鏡研究室
住所：Address	〒060-8628 北海道札幌市北区北13条西8丁目
フロア：Floor	-

メーカー／型番：Manufacturer／Model Name

日本電子／JEM-9320FIB
JEOL／JEM-9320FIB

カテゴリー：Category

微細加工・表面加工装置／集束イオンビーム加工観察装置(FIB)
Microfabrication & Surface Processing Equipment／Focused Ion Beam System

装置管理者：Instrument Manager

柴山環樹

0117066774

装置所属／装置供出者：Affiliated Department／Instrument Provider

工学部／工学研究院
Faculty of Engineering

利用料金：Fee


予約利用料Facility Usage Fee	学外（他大学・公的機関）	￥7,000 / 時間
	学外（その他・民間企業）	￥9,000 / 時間

技術相談料Technical Consulting Fee	学外（他大学・公的機関）	￥11,000 / 時間
	学外（その他・民間企業）	￥14,300 / 時間

概要・性能：Performance

30keVのGaイオンを照射することによって試料の表面や内部の任意の10～20μm四方の領域の薄膜し透過電子顕微鏡観察用試料を作製することが出来る。タングステンやカーボンを試料の表面に任意の形状にデポすることも可能。

カタログ：Catalog

マニュアル：Manual

なし

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課題番号 * ：Issue No.
利用責任者：User Manager
利用者：User
申込日：Application Date	2026/05/08
初回講習料（基本料）：Initial Training Fee
連絡事項：Note