オープンファシリティ

【スパッタ装置】

メーカー／型番：キヤノンアネルバ／SPF-210H

AP-200026

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状態：Status

停止中 Out of Service

予約状況
Equipment Availability

建屋・棟：Building	工学部C棟
フロア：Floor	C118（クリーンリーム）

メーカー／型番：Manufacturer／Model Name

キヤノンアネルバ／SPF-210H

カテゴリー：Category

クリーンルーム内設置装置／工学部棟内
／工学部棟内

装置管理者：Instrument Manager

ナノテク装置管理者（情報）
nanolab@ist.hokudai.ac.jp
6539

装置所属／装置供出者：Affiliated Department／Instrument Provider

情報科学研究院
Advanced Research Infrastructure for Materials and Nanotechnology

利用料金：Fee

初回講習料（基本料）Initial Training Fee	学外（他大学・公的機関）		￥26,400
	学外（その他・民間企業）		￥26,400

予約利用料Facility Usage Fee	学外（他大学・公的機関）	データなし	￥400 / 時間
		データあり	￥300 / 時間
	学外（その他・民間企業）	データなし	￥600 / 時間
		データあり	￥500 / 時間

技術代行料Processing Fee	学外（他大学・公的機関）	データなし	￥9,200 / 時間
		データあり	￥9,100 / 時間
	学外（その他・民間企業）	データなし	￥9,400 / 時間
		データあり	￥9,300 / 時間

技術補助料Technical Assisting Fee	学外（他大学・公的機関）	データなし	￥4,800 / 時間
		データあり	￥4,700 / 時間
	学外（その他・民間企業）	データなし	￥5,000 / 時間
		データあり	￥4,900 / 時間

技術支援料（通常）Technical Support Fee (Normal)	学外（他大学・公的機関）		￥4,400 / 時間
	学外（その他・民間企業）		￥4,400 / 時間

技術支援料（高度）Technical Support Fee (High)	学外（他大学・公的機関）		￥8,800 / 時間
	学外（その他・民間企業）		￥8,800 / 時間

技術相談料Technical Consulting Fee	学外（他大学・公的機関）		￥11,000 / 時間
	学外（その他・民間企業）		￥11,000 / 時間

の利用のため、下記の内容で講習を申し込みます。よろしいですか？ Apply with the following information. OK?
課題番号 * ：Issue No.
利用責任者：User Manager
利用者：User
申込日：Application Date	2025/06/06
初回講習料（基本料）：Initial Training Fee
連絡事項：Note