オープンファシリティ

【電子線描画装置】

メーカー／型番：エリオニクス／ELS-7300(ERA-8000FE)

AP-200019

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状態：Status

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予約状況
Equipment Availability

メーカー／型番：Manufacturer／Model Name

エリオニクス／ELS-7300(ERA-8000FE)

カテゴリー：Category

クリーンルーム内設置装置／工学部棟内
／工学部棟内

装置管理者：Instrument Manager

ナノテク装置管理者（情報）
nanolab@ist.hokudai.ac.jp
6539

装置所属／装置供出者：Affiliated Department／Instrument Provider

情報科学研究院
Advanced Research Infrastructure for Materials and Nanotechnology

利用料金：Fee

初回講習料（基本料）Initial Training Fee	学外（他大学・公的機関）		￥70,400
	学外（その他・民間企業）		￥70,400

予約利用料Facility Usage Fee	学外（他大学・公的機関）	データなし	￥2,200 / 時間
		データあり	￥1,700 / 時間
	学外（その他・民間企業）	データなし	￥6,400 / 時間
		データあり	￥5,000 / 時間

技術代行料Processing Fee	学外（他大学・公的機関）	データなし	￥11,000 / 時間
		データあり	￥10,500 / 時間
	学外（その他・民間企業）	データなし	￥15,200 / 時間
		データあり	￥13,800 / 時間

技術補助料Technical Assisting Fee	学外（他大学・公的機関）	データなし	￥6,600 / 時間
		データあり	￥6,100 / 時間
	学外（その他・民間企業）	データなし	￥10,800 / 時間
		データあり	￥9,400 / 時間

技術支援料（通常）Technical Support Fee (Normal)	学外（他大学・公的機関）		￥4,400 / 時間
	学外（その他・民間企業）		￥4,400 / 時間

技術支援料（高度）Technical Support Fee (High)	学外（他大学・公的機関）		￥8,800 / 時間
	学外（その他・民間企業）		￥8,800 / 時間

技術相談料Technical Consulting Fee	学外（他大学・公的機関）		￥11,000 / 時間
	学外（その他・民間企業）		￥11,000 / 時間

備考：Note	マテリアル先端リサーチインフラ事業装置
概要・性能：Performance	基板上に塗布されたレジスト材に、電子線で直接描画をする露光装置。
仕様：Specs	・電子銃エミッター:ZrO/W ・加速電圧:30kV ・試料サイズ:最大5インチ・円弧スキャン可

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課題番号 * ：Issue No.
利用責任者：User Manager
利用者：User
申込日：Application Date	2025/06/06
初回講習料（基本料）：Initial Training Fee
連絡事項：Note